首页 > 文档云仓 > 行业研究 | 企业研究 > 电子|半导体 > 100页电子气体研究框架
【报告导读】电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关。
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