首页 > 文档云仓 > 行业研究 | 企业研究 > 电子|半导体 > 光刻机行业深度报告:博采众星之光,点亮皇冠明珠
【报告导读】光刻机之复杂程度堪称人类科技之巅。一方面,光刻机制造是多学科交织的极其复杂的工程,其研发集成了精密光学、精密运动学、高精度微环境控制、算法、微电子、高精度测控等多学科全球最顶尖工程师和科学家的智慧。另一方面,光刻机是一整套完整的纳米工业体系,要产出纳米级精度的芯片,需要其背后的光源系统、光学镜头系统、精密运动和环境控制系统、测量系统、聚焦系统、对准系统等模块全部达到纳米级精度,并且高度集成和协同,每一个子 系统的技术迭代成果均蕴含了该领域最前沿的高精尖技术。毫不夸张地说,光刻机是人类工业文明的巅峰之作,是现代工业体系皇冠上的明珠。
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