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【半导体行业分析报告】半导体前道设备:2021年前道设备再迎新黄金时代(139页).pdf
  伸腿的蚂蚁   2021-06-11   23551 举报与投诉
 伸腿的蚂蚁   2021-06-11  2.3万

【报告导读】目前中国半导体国产设备自给率仅约12%,其中前道设备中含金量最高的关键九类设备的国产化率皆<10%,甚至在高端工艺中的国产化率近乎为0。国产前道设 备商还有极大的增长空间,前道设备也已成为国家的重点扶持方向。目前国产九类前道设备技术逐渐成熟,多数达14nm先进制程,其中国产商最具潜力的领域 包括刻蚀、CVD、PVD、清洗、量测等,国内增存量替代空间大。


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