首页 > 文档云仓 > 技术工艺 | 前沿科技 > 智能制造 | 先进工艺 > 国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度：原理、工艺与产业链
国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度：原理、工艺与产业链（21页）.pdf
举报与投诉【报告导读】MEMS 陀螺仪利用科里奥利力去测量角速度，用 MEMS 工艺实现，一般采用梳齿电容静电驱动质量块振动，角速度带来质量块另外一个方向的位移，用电容检测该位移从而计算出角速度。
MEMS 陀螺 仪基本都是谐振式陀螺仪，主要部件有支撑框架、谐振质量块及激励 和测量单元，工作模态分为驱动模态与检测模态，两种模态的工作状 态、稳定控制及后续信号处理都需要通过外围电路来实现，静电驱动 是目前大部分 MEMS 陀螺仪采用的驱动方法，检测方式包括电磁检 测、电容检测、压电检测和压阻检测等。
零偏稳定性是衡量陀螺仪性能的主要核心指标，用来衡量陀螺仪 在一个工作周期内，当输入角速率为零时，陀螺仪输出值围绕其均值 的离散程度，数值越小表示性能越高。按照该指标不同，陀螺仪又分 为消费级、战术级、导航级、战略级，当前 MEMS 陀螺仪可以达到导 航级的精度水平。MEMS 陀螺仪因其体积小、重量轻、功耗低、成本 低等诸多优点，在消费电子领域已经获得了广泛应用，随着技术进步， 高精度 MEMS 陀螺仪在工业、商用航空航天、商用船舶导航以及武 器装备领域的渗透率存在较大提升空间。
由于 MEMS 传感器中复杂的极微小型机械系统的存在，MEMS 传感器的芯片设计和工艺研发必须紧密配合。一方面，制造端已有的 工艺路线在很大程度上决定了芯片的设计路线；另一方面，芯片的设 计路线又需要对制造端的工艺模块进行重组和调试。因此，MEMS 传 感器的研发企业必须同时进行芯片和工艺端的研发。在 MEMS 陀螺 仪工艺路线上，SOI 结构渐渐成为加工 MEMS 器件的主要技术，ASIC 一般采用 CMOS 工艺；MEMS 器件一般采用晶圆级封装，CMOS、 MEMS 等器件集成封装正在向 3D 集成技术发展，用较短的垂直互连 取代很长的二维互连，从而减低了系统寄生效应和功耗，并达到体积 最小化和优良电性能的高密度互连目的。
国内 MEMS 陀螺仪相关厂商包括芯动联科、美泰科技、深迪半 导体、矽睿科技等。其中，芯动联科主要做高性能产品，典型产品 33 系列陀螺仪的零偏稳定性为 0.1°/h，相较于其他厂商，该指标领先 1- 2 个数量级。
收藏(926)
点赞(942)
格式
大小
1.13MB
青云豆
3
通信行业研究报告：掘金亿物互联-22H1物联网全产业链数据扫描（35页）.pdf
机械设备行业专题报告之机器视觉：深度解析基恩士是一家怎样的企业（12页）.pdf
光大证券-四方光电分析报告：专注于气体传感，车载业务打开成长空间（19页）.pdf
汽车行业研究报告2022年中期策略：销量逐季提升迎周期性大年，新能源汽车由国内走向全球（31页）.pdf
柯力传感：传感器行业隐形冠军，加速向物联网解决方案供应商转型！（27页）.pdf
汽车行业研究报告：半导体汽车芯片：电动化乘势而行，智能化浪潮之巅（122页）.pdf
国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度之一：原理、工艺与产业链（21页）.pdf
消费设备行业深度②：通胀逐步回落、加息进入尾声，关注消费设备出口机会（27页）.pdf
2022气体传感器十大企业报告（28页）.pdf
浙商证券-电子行业深度报告：智能驾驶系列报告之二，智能汽车千里眼，激光雷达未来可期（29页）.pdf
