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MEMS陀螺仪
MEMS 陀螺仪利用科里奥利力去测量角速度,用 MEMS 工艺实现,一般采用梳齿电容静电驱动质量块振动,角速度带来质量块另外一个方向的位移,用电容检测该位移从而计算出角速度。
国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度:原理、工艺与产业链.pdf
国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度之一:原理、工艺与产业链.pdf