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量测设备能在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷,对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率,起到至关重要的作用。量测设备种类多,存在膜厚、套刻误差、关键尺寸、有图形缺陷检测、无图形缺陷检测、电子束等多个细分赛道
量测设备行业报告:细致检测攻坚克难,精准度量引领进步.pdf