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量测设备行业报告:细致检测攻坚克难,精准度量引领进步(45页).pdf
  强生   2022-12-04   23755 举报与投诉
 强生   2022-12-04  2.3万

【报告导读】集成电路生产工艺演进,量测设备重要性提升:量测设备能在生产中监 测、识别、定位、分析工艺缺陷,对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良 率,起到至关重要的作用。量测设备分为尺寸测量和缺陷检测两大类。集成电 路工艺升级推动芯片生产的总步骤数不断上升。如今芯片生产涉及超 1000 道 工序,即使每道工序良率达到 99.9%,芯片的最终良品率也只有 36.8%,这对 单个工序的良率提出了更高的要求。随着集成电路继续多层化、复杂化,量测 设备的重要性日趋凸显。

量测市场广阔细分赛道多,海外巨头一家独大:量测设备开支占半导体 前道设备整体开支的 13%,2021 年全球市场规模约为 104 亿美元,先进制程 有望推动市场实现长远增长。量测设备种类多,存在膜厚、套刻误差、关键尺 寸、有图形缺陷检测、无图形缺陷检测、电子束等多个细分类赛道。美国科磊 (KLA)为量测领域行业龙头,产品覆盖广泛,市场占比 52%,超过第二名应 用材料 4 倍以上。

量测设备自给率低,国产化需求量大时间紧迫:量测设备涉及高端光学 和电子学技术,国内积累相对薄弱;单个细分类设备市场小,重视程度不足, 国内企业之前长期单打独斗。依据最新预估,中国大陆量测设备市场规模 31.1 亿美元,国产化率只有 2%。海外不断施加限制措施,量测设备已成为光刻机 之外威胁较大的短板。面对威胁,国内晶圆厂积极引入国产量测设备进行工艺 验证,有望推动国内量测产业快速发展。

国内量测企业迎难而上,全面布局成长可期:精测电子、睿励科学仪器、 中科飞测、东方晶源等企业,凭借多年的研发经验和技术积累,逐步破茧而出。 国内量测企业多维布局,已实现对多种细分类设备的广泛覆盖,并在光学系统 和检测算法方面取得突破,多种设备达到 28 纳米工艺节点,多个 14 纳米级 产品进入工艺验证阶段;展望未来,国内企业有望缩小与海外企业的差距并取 得出色业绩。


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