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电子行业半导体设备深度专题报告：从晶圆厂招标数据看半导体设备国产化进展（47页）.pdf
举报与投诉我们通过三座典型晶圆厂的历史招投标数据，归纳整理出半导体设备各细分市 场的国产化现状和国产厂商竞争格局。据我们测算，三座典型晶圆厂设备国产 化率总体在 15%左右，随供应链本土化趋势，未来有望实现国产化率阶跃式提 升。展望 2022 年，在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司 持续有业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的 龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型 企业。
半导体设备市场空间全球约千亿美元，国内市场增速高达 39%，下游扩产持续 拉动设备需求。据 SEMI 预测，2021 年全球半导体设备市场规模达 953 亿美 元，同比增长 34%，2020 年中国大陆市场同比增速已达 39%，由于晶圆厂扩 产加速，国内市场增速显著高于全球。我们预计 2022 年中芯国际、合肥长 鑫、华虹集团、长江存储等国内主流晶圆厂均为扩产主力，多个新厂区项目上 马料将继续拉动国内设备市场需求。
设备国产替代加速，国产厂商有望迎来加速成长。从行业格局来看，美日欧厂 商在半导体设备领域具备传统优势，占据半导体设备全球前 15 名席位。据我 们估算，2020 年中国大陆厂商营收体量在全球市场占比仅约 2%。从我们选取 的长江存储、华力集成、华虹无锡三座典型晶圆厂招投标数据来看，美国设备 厂商份额在 4~5 成，日本厂商份额 3 成左右，国产份额不足 2 成，但过去几年 国产设备份额呈现明显上升趋势。
设备国产化率测算：据我们测算，三座典型晶圆厂设备国产化率总体在 15%左 右（按照设备台数占比，下同），其中长江存储、华虹无锡、华力集成设备国 产化率分别为 16.3%、15%、12.8%。横向对比而言，长江存储在设备国产化 方面较为积极，部分原因是 IDM 模式的设备选择自主性相对高于晶圆厂代工 厂；华虹无锡与华力集成同属于华虹集团，华虹无锡各类型设备国产化率大多 高于华力集成，或主要由于华虹无锡 90nm~55nm 的成熟制程相较于华力集成 相对先进的 28~14nm 制程更易于推进设备国产化。
各细分市场格局：我们估算部分领域国产化率可达到 20%以上，部分国产化率 尚低。我们对各细分市场格局进行了梳理，其中，（1）去胶：国产化率约 74%（据我们测算，下同），屹唐股份、盛美上海等位于国内前列；（2）清 洗设备：国产化率约 31%，盛美上海表现突出，设备中标数量仅次于日本迪恩 士；（3）氧化扩散/热处理设备：国产化率约 29%，北方华创中标设备数量靠 前；（4）刻蚀设备：国产化率约 22%，中微公司、北方华创、屹唐股份分列 国内前三；（5）化学机械抛光：国产化率约 21%，华海清科为国内细分龙 头；（6）薄膜沉积：国产化率约 4.6%，拓荆科技、北方华创、盛美上海分列 国内前三；（7）过程控制：国产化率约 2.4%，中科飞测、精测半导体、睿励 科学仪器国内领先；（8）离子注入：国产化率约 1.4%，烁科中科信是为数不 多获得采购的国产厂商；（10）光刻机：国产化率约 1.2%，基本由荷兰厂商 阿斯麦垄断，国内上海微电子实现零突破；（11）涂胶显影：国产化率约 1.1%，日本东京电子领先，国内芯源微实现零突破。总体而言，国内设备厂商 在设备品类、工艺覆盖率方面仍存在较大提升空间，美国制裁华为、中芯国际 等事件已经激发国内厂商的供应链安全意识，国内晶圆厂有望加快供应链本土 化，我们预计国产设备厂商接下来 1~2 年有望受益国产设备份额的阶跃式提 升。
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