首页 > 文档云仓 > 行业研究 | 企业研究 > 化工化学|新材料 > 2021年中国特种气体行业短报告
特种气体:是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体。
化学气相沉积:一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。。
刻蚀: 半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。
掺杂:指多种物质混杂在一起,在化工、材料等领域中,掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能,有目的在这种材料或基质中,掺入少量其他元素或化合物。
离子注入:把掺杂剂的离子引入固体中的一种材料改性方法。
MO源:即高纯金属有机化合物,是半导体微结构材料的支撑材料,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。
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