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2021年中国特种气体行业短报告(17页).pdf
  August   2022-01-04   4497 举报与投诉
 August   2022-01-04  4497

特种气体:是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体。 

化学气相沉积:一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。。 

刻蚀: 半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。 

掺杂:指多种物质混杂在一起,在化工、材料等领域中,掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能,有目的在这种材料或基质中,掺入少量其他元素或化合物。 

离子注入:把掺杂剂的离子引入固体中的一种材料改性方法。 

MO源:即高纯金属有机化合物,是半导体微结构材料的支撑材料,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。

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